激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡（面）和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。
激光混合氣的重要特點(diǎn)之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。
激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮?dú)獾募兌?9.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮?dú)馐瞧胶鈿怏w，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。
激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮?dú)饣蚬I(yè)氧氣，當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮?dú)庾鳛檩o助氣體，一般壓力要求比較高。切割碳鋼時一般使用氧氣起到冷卻切邊和加速燃燒碳鋼已提高切割速度。當(dāng)然，當(dāng)鋼瓶厚度薄，對切割質(zhì)量要求不高時可以用干燥空氣替代高純氮?dú)獾容o助氣體。切割輔助氣體一般質(zhì)量要求不高，關(guān)鍵是價格便宜，壓力適合。
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