氨氣 （NH3)

包裝：采用450L、200L鋼瓶充裝。

用途：用于晶圓清洗、在CVD過(guò)程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜

理化性質(zhì): 通常為無(wú)色有強(qiáng)烈刺激性氣味，常溫下加壓可液化，臨界溫度132.9℃，臨界壓力11.38MPa，常壓下冷卻到－33.35℃時(shí)液化。液氨揮發(fā)性很強(qiáng)，氣化時(shí)吸熱很大，在－77.75℃時(shí)凝固成無(wú)色結(jié)晶。氨極易溶于水，并放出熱量。氨的水溶液稱為氨水，呈弱堿性，易揮發(fā)。自燃點(diǎn)630℃，在空氣中遇火能爆炸。

常溫、常壓下在空氣中的爆炸極限為16％～28％（體積）。

注意事項(xiàng)：

1、工作時(shí)應(yīng)選用耐腐蝕的工作服、防堿手套、眼鏡、膠鞋、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩，防毒口罩應(yīng)定期檢查，以防失效。

2、在使用氨水作業(yè)時(shí)，應(yīng)在作業(yè)者身旁放一盆清水，以防萬(wàn)一；在氨水運(yùn)輸過(guò)程中，應(yīng)隨身攜帶2~3只盛滿3%硼酸液的水壺，以備急救沖洗；配制一定濃度氨水時(shí)，應(yīng)戴上風(fēng)鏡；使用氨水時(shí)，作業(yè)者應(yīng)在上風(fēng)處，防止它刺激面部；操作時(shí)要嚴(yán)禁用手揉擦眼睛，操作后洗凈雙手。

3、配備良好的通風(fēng)排氣設(shè)施、合適的防爆、滅火裝置。

4、工作場(chǎng)所禁止飲食、吸煙、禁止明火、火花。

5、應(yīng)急救援時(shí)，必須佩帶空氣呼吸器。

6、發(fā)生泄漏時(shí)，將泄漏鋼瓶的滲口朝上，防止液態(tài)氨溢出。

7、加強(qiáng)生產(chǎn)過(guò)程的密閉化和自動(dòng)化，防止跑、冒、滴、漏。

8、使用、運(yùn)輸和貯存時(shí)應(yīng)注意安全，防止容器破裂和冒氣。

9、現(xiàn)場(chǎng)安裝監(jiān)測(cè)儀及時(shí)報(bào)警發(fā)現(xiàn)。